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【公派访学讲座】郑梦洁:基于电子束曝光湿法剥离工艺的无粘附层金属微纳结构加工

发布时间:2018-12-14  发布作者:  点击数:

时间:1221日上午10:00

地点:物理楼A219

题目:基于电子束曝光湿法剥离工艺的无粘附层金属微纳结构加工

主讲人:郑梦洁


主讲人简介:郑梦洁,物理与微电子科学学院2016级博士研究生,国内导师机械与运载工程学院段辉高教授,于201711月至201812月在美国麻省理工学院电子工程系Quantum Nanostructures and Nanofabrication课题组进行为期一年的联合培养,国外导师Karl K. Berggren教授。已发表SCI一作及共同一作论文两篇,共同作者13篇。在国外联合培养期间,主导课题四项,参与课题一项,参与撰写论文一篇在投。


内容提要:金属粘附层运用于传统金属纳米结构加工剥离工艺中,并广泛应用于表面等离激元、纳米光子及纳米电子学器件制作。然而,粘附层虽提供了较为稳定的力学支撑,但其带来的近场增强的损耗及减小等离激元弛豫时间限制其在纳米光学器件中的应用。此外,钛铬粘附层对器件电学性质如导电性的影响大于其自身结构的影响。并且,可能存在的氧化现象对纳米电子器件的正常使用造成阻碍。本研究对无粘附层制作金属纳米结构结果进行统计,并对其存在的问题进行分析解释,以期为无粘附层制作部分纳米光电器件提供指导性建议。本次讲座将分享留美期间学习、工作以及生活点滴。

 

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